Lageplan des Mikrostrukturzentrums
Der dargestellte Plan entspricht der Räumeverteilung nach dem letzten Umbau im Jahr 2020.
 

Laborräume des MSZs
| Räume | Labor / Bezeichnung | Interne Rufnummer  | 
Mitarbeiter | 
| K030 | AMP-Labor | 58214 | Dr. Martin Feneberg | 
| K031 | Präparationslabor | 52828 | Dipl.-Phys. Silke Petzold | 
| K034 | Rasterelektronenmikroskop JEOL / REM | 52403 | Dipl.-Phys. Anja Dempewolf | 
| K035 | Optische Spektroskopie | 52087 | |
| K036 | Photo-, Elektrolumineszenz / PL / EL / µPL / µEL | 52257 | Dr. Gordon Schmidt | 
| K080 | FIB-Versorgung | 51265 | |
| K082 | Werkstatt | 51265 | Dipl.-Ing. Stefan Sterling | 
| K083 | FIB-Labor | 51266 | Dr. Gordon Schmidt | 
| K084 | Oberflächenanalyse / AFM / STM / AES / XPS | 51268 | Dipl.-Phys. Bernd Garke | 
| K086 | Lithographie | 51267 | Dr. Armin Dadgar | 
| K087 | |||
| K088 | Chemische Präparation | 51262 | |
| K089 | Oberflächenprofiler | 51263 | Dipl.-Phys. Silke Petzold | 
| K090 | Rastereletronenmikroskop Hitachi 4800 / FE-REM | 51264 | Dipl.-Phys. Anja Dempewolf | 
| K091 | Elektrische Rastersondenmikroskopie / SSM | 51251 | Dr. Hartmut Witte | 
| K092 | Kathodolumineszenz / CL / ps-CL | 51269 | PD Dr. Frank Bertram | 
| K093 | Workstation-Cluster / KL-Auswertung | 51250 | |
| K094 | Transmissionelektronenmikroskop / TEM | 51257 | Dr. Gordon Schmidt | 
| K095 | Transmissionelektronenmikroskop / TEM-CL | 51258 | Dr. Gordon Schmidt | 
| K096 | TEM-Versorgung | 51256 |