FIB Scios2

 

FIB ThermoFisher Scios 2: Frontansicht

 

 Blick ins FIB-Labor

 

 Schematischer Aufbau des Gerätes

 

 Wechselwirkung der Ga-Ionen mit dem Festkörper

 

 Schematischer Vorgang einer Platinabscheidung

 

Detektoren des FIB-Gerätes

 

 Everhart-Thornley Detektor:  detektiert Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen bei e-beam und i-beam Modus

 

Trinity Detektoren: befinden sich innerhalb der unteren Linse, detektieren SE (T2) und BSE (T1) bei e-beam Modus		STEM Detektor: Halbleiter-Diode montiert auf einem einziehbaren Arm, geteilt in Ringsegmente zur BF-, ADF-, HAADF-Aufnahmen