Oberflächenprofiler

Zur Messung von Oberflächenprofilen von homogenen Proben bzw. epitaktischen Schichten steht im MSZ ein Oberflächenprofil-Messgerät Tencor P-10 zur Verfügung.

Technische Daten:

Substratgröße bis 200 mm Scanlänge bis 150 mm Scangeschwindigkeit 1 µm/sec bis 25 mm/sec Messbare Stufenhöhe:  Nanometerbereich bis ca 300 µm Horizontale Auflösung ab 0.01 µm

Mit Hilfe des Gerätes können hochsensitive Messungen von Rauhigkeit, Welligkeit, Stufenhöhe, und anderen Oberflächenparametern durchgeführt werden. Eine Serie von Messungen kann in einer 3D-Topographie dargestellt werden.