AES / XPS / UHV-AFM - Anwendungsbeispiele

XPS-Survey_600

XPS-Survey

Dieses Diagramm zeigt ein Elektronen-Energiespektrum bei Röntgenbestrahlung der Probenoberfläche. Aus den Peaks bei definierten Bindungsenergien lassen sich die in der Oberfläche vorhandenen Atomspezies identifizieren.

XPS-Multiplex_600

XPS-Multiplex

Sind die vorhandenen Elemente bekannt, wird im interessierenden Energieintervall mit höherer Auflösung gemessen. Dieses Bild zeigt die Veränderung des Sn-Dubletts in verschiedenen Sputtertiefen.

AES-Survey_600

AES-Survey

Erfolgt die Anregung der Oberfläche mit einem Primär-Elektronenstrahl, lassen sich die emittierten Auger-Elektronen im (differenzierten) Energiespektrum erfassen. Da sie ebenfalls charakteristisch für die vorhandenen Atomspezies sind, kann wieder eine Identifizierung erfolgen.

AES-Multiplex_600

AES-Multiplex:

zeigt den differenzierten Auger-Übergang des Sauerstoffs in verschiedenen Sputtertiefen.

aes_map

AES-Maps auf einer WC-Oberfläche

a) Sekundärelektronenbild
b) Kohlenstoff-Map
c) Wolfram-Map
d) Überlagerung von SE-Bild und C-Map

STM_erg

STM-BILD einer modifizierten Edelstahl-Oberfläche